半导体行业超纯水设备工艺流程
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18mω.cm)(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→edi装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18mω.cm)(最新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机(ph调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→edi装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17mω.cm)(最新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→edi装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15mω.cm)(最新工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15mω.cm)(传统工艺)
超纯水设备
半导体行业超纯水设备注意事项
1、pp滤芯：新的滤芯是白色，如果时间长了表面会淤积泥沙，呈现褐色，表示该滤芯不能用了，用水冲洗掉表面泥沙后，可以继续使用1周左右，但不能长期使用，它的寿命一般在3—6月。
2、ro反渗透膜：用水量在10升/天以内，可以冲洗3-5次，超过10l，则多冲洗几次。如果长时间(如四周以上)不用，需要将其取出浸泡在消毒液里，避免细菌的滋生，不过该过程比较麻烦，建议经常开机用少量的水，让机器内部的水形成流通，尽量减少死水的沉积时间过长。反渗透膜的寿命一般在2-3年。
3、活性炭：活性炭主要通过吸附作用，去除水中的异味、有机物等。自来水中有余氯，对反渗透膜有很大的氧化作用，所以必须由活性炭去除。活性炭从表面上看没有直观的变化，一般在一年左右达到饱和吸附就需要更换。
4、超纯化柱：作用是对反渗透纯水进行深度脱盐，最终达到超纯水水平。纯化柱的寿命由电阻率在线来表现，低于某个特定的电阻即表示纯化柱过期。
超纯水设备
半导体行业超纯水设备采用先进的水处理技术，保证设备的出水稳定。
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