1.新工艺一
原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→ro前水泵→紧密过滤器(或称保安过滤器)→ro高压泵→ro反渗透零碎→ro水箱→ro水增压泵→混床→终端紧密过滤→设备用水(水质可以达到16mω.cm以上即0.06 μs/ ㎝以下,25 ℃)
2.新工艺二
原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→ro前水泵→紧密过滤器(或称保安过滤器)→ro高压泵→ro反渗透零碎→ro水箱→ro水增压泵→浅显混床→抛光混床→终端紧密过滤→设备用水
3.新工艺三
原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→ro前水泵→紧密过滤器(或称保安过滤器)→ro高压泵→ro反渗透零碎→ro水箱→ro水增压泵→edi电去离子(又称填充床电渗析edi/cdi)主机→终端紧密过滤→uv紫外线杀菌→设备用水
4.新工艺四
原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→ro前水泵→紧密过滤器(或称保安过滤器)→ro高压泵→ro反渗透零碎→ro水箱→ro水增压泵→edi电去离子(又称填充床电渗析edi/cdi)主机→去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)箱→去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)泵→抛光混床→终端紧密过滤→uv紫外线杀菌→设备用水
5.新工艺五
原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→一级ro高压泵→一级ro反渗透零碎→ro水箱→二级ro高压泵→二级ro水箱→增压泵→edi(cedi)电去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)主机→去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)箱→去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)泵→抛光混床→终端紧密过滤→uv紫外线杀菌→设备用水
电子超纯水设备的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：
第一种采用传统的离子交换树脂其优点在于初次投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
第二种采用反渗透 离子交换设备，其特点为初次投资比采用离子交换树脂方式要稍高，但离子再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。是比较经济与流行的一种工艺。
第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水最先进，最环保的的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初次投资相对以上两种方式过于昂贵。
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